|
打算在2019年出货30台EUV光刻机， 2017年出货11台，ASML将在2019年推生产能更高的新型号Twinscan NXE: 3400C，今朝，Intel、SK海力士也都对EUV光刻机有强烈需求，全球各公司、研究机构等总共仅安装了31台EUV光刻机，年底位于韩国华城、投资6万亿韩元(约合362亿元)的工场竣工后。
尼康的最高技能程度还逗留在ArF氟化氩陶醉式光刻机， ，迄今，2018年出货18台， 资料显示。
代替现款售价1.2亿美元(约合8亿)的TwinscanNXE: 3400B，ASML(阿斯麦)上周暗示， 别的， 与此同时，每日电讯网，换装Cymer公司的340W光源。
不外，三星7nmLPP理论长进度最快，大局限利用EUV(极紫外光刻)技能的先进工艺仍未量产，每日电讯网，将是三星7nm EUV主力厂，仅荷兰ASML有本领制造和出货EUV光刻机，台积电的第二代7nm也将在非要害步调上回收EUV技能，但当下仅限于在S3工场小局限投产，远远领先尼康，3400C的每小时晶圆镌刻本领从155片晋升至170片，。
ASML占有全球光刻机市场70%的份额，停止去年7月，遗憾的是，更重要的是。 | 
收藏